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高端电子工艺装备

【1】集成电路装备

产业介绍:电控公司的集成电路装备以七星电子(北方微)(A股代码:002371)为载体,借助上市平台和国家重大科技专项加快产业发展,产品以集成电路设备为主,并结合市场需求向光伏、先进封装、LED、MEMS、光波导、功率器件和化合物半导体等应用领域拓展。七星电子(北方微)先后承担11项国家重大科技02专项,技术水平快速提升🐼,填补了国内12英寸高端刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、清洗机等设备技术空白,大部分产品实现了28nm的产业化认证,刻蚀机、PVD已开始14nm技术的研发。 

125英尺28nm刻蚀机、PVD、钝化炉等机器均已开启了在国内着名整合电线制造出单位大产量线,众多护肤品已然为LED、高级二极管封装、MEMS等泛光电器件领的中端护肤品,卖场转型的工作初步成效更为明显。在这当中125英尺、28nmHardMask PVD机器及125英尺55nm硅刻蚀机器已看做中芯展览的Baseline机器。

重要产品:刻蚀设备(Etch)、化学气相沉积设备(CVD)、𒊎物理气相沉积设备(PVD)立式炉、LPCVD、超精细清洗机、ALD设备。 

 

【2】锂电装备

郑州电机控制可提供了整套的锂亚铁离子电板极片生产加工需要的的拌和、刷抹、辊压、分割机械。  
胜利设计大发热量的(400L、600L、800L、1000L、2000L)搅匀产品,已把控主动放料技木、搅匀的过程 程序流程化的操控、搅匀料评测等技木;胜利设计出了一挤式涂覆产品,涂覆线速度慢10-20m/min(最底高达30m/min)。胜利设计出了油缸电机驱动器辊压产品,极片热挤压线速度慢高达20-30m/min(最底高达60m/min),把控了极片热轧钢技木、辊电镀锌技木、AGC油缸电机驱动器的操控型等管理的本质技木。  
分割机 可分割防水卷材高度达700mm,分娩转化率起到50m/min(更高水准起到80m/min),并开发管理了机 CCD测控软件大大减少了物料废旧率。与此而且,取得成功的可用于了20000Ah锂亚铁离子动力机蓄电池中试线,为自产机 保证了了艺校验的平台,掌握保证了整线克服计划方案的水平。